長期從事微納制造、先進傳感技術與精密超精密加工技術與裝備等方面的研究，在高端MEMS傳感技術及系列器件、數字化精密測量與超精密加工技術與裝備的工程科技領域做出了突出貢獻，在微納米技術相關基礎理論和生物檢測技術及儀器等方面開展了創新性研究。

獲國家技術發明二等獎2項、國家科技進步二等獎1項，其他省部級獎勵9項，并獲全國首屆創新爭先獎、何梁何利科學與技術進步獎、全國優秀骨干教師、全國百篇優秀博士學位論文指導教師、西安交通大學學位與研究生教育工作突出貢獻獎等。主編論著2本，發表論文400余篇；授權中國發明專利100余項、美國發明專利1項、獲中國專利優秀獎1項、軟件著作權15項。擔任國際重要學術會議的大會主席20余次，國際會議Plenary和Keynote等特邀報告30余次。?