????? 主持項目包括國家863計劃重點課題、973課題、國家自然基金以及國防科工委國防基礎研究的相關研究項目20余項。危化品狀態檢測MEMS傳感器產業化關鍵技術與應用
面向石化等重要行業的MEMS壓力傳感器的制造技術與實用化研究;石油行業微傳感器及系統;MEMS高溫高壓高頻響微型壓力傳感器研究;超高速柔性主軸系統高精度動平衡的傳感器研究技術;三維微力硅微傳感器研究;基于SOI技術多傳感器集成技術研究;基于SOI技術的傳感器集成與特種傳感器研究;面向帕金森病治療的MEMS顱內微型壓力傳感器研發;耐高溫微型微壓力傳感器研究;基于MEMS技術慣性測量系統研究。
????? 相關研究和技術獲國家授權發明專利20余項。在國際期刊及國際重要學術會議:Sensors and Actuators, Measurement Science and Technology, Material Letters, ASME,IEEE SENSORS. 以及國內期刊:儀器儀表學報、機械工程學報、傳感器技術學報、半導體學報等期刊上發表論文50余篇,其中SCI、EI收錄30余篇。
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